반도체주 폭락 부른 中 DUV… 생산업체 주주는 국유기업 2곳

빠른 국산화… ‘딥시크 쇼크’ 일상화
문샷AI ‘키미’ 등 AI 굴기도 현실화

중국이 액침 심자외선(DUV) 노광장비 제조에 착수했다는 소식으로 글로벌 반도체주를 출렁이게 한 업체는 중국 국영기업 ‘아이성나(愛晟納) 전자기술그룹’인 것으로 알려졌다.

로이터통신은 28일(현지 시간) 소식통을 인용해 아이성나가 노광장비 스타트업 ‘유량성’과 ‘상하이마이크로일렉트로닉스 장비’(SMEE)의 핵심 인력을 흡수해 DUV 생산을 주도하고 있다고 보도했다. 유량성은 화웨이의 지원을 받는 장비 제조업체 사이캐리어의 계열사다.

2023년 8월 설립된 아이성나의 등록 서류상 주주는 국유기업인 ‘상하이일렉트릭홀딩스’와 ‘상하이인터내셔널트러스트’ 두 곳뿐이다. 공식 홈페이지조차 없을 정도로 외부에 거의 알려지지 않았다.


DUV 노광장비는 반도체 웨이퍼에 미세한 회로를 새기는 핵심 장비다. 액침 DUV 노광장비는 이보다 한 단계 더 발전된 기술로, 투영 렌즈와 실리콘 웨이퍼 사이에 수막을 만드는 방식이다. 기존 건식 시스템보다 더 미세한 회로를 구현할 수 있다. DUV 시장은 네덜란드 ASML이 주도해 왔다. 다만 로이터통신은 소식통을 인용해 아이성나의 액침 DUV 노광장비는 ASML에 비해서는 아직 많이 뒤처진 상태라고 전했다.

그럼에도 중국의 반도체 장비 국산화가 빠르게 진전됐다는 점에서, 업계에서는 지난해 세계를 놀라게 한 ‘딥시크 쇼크’가 이제 일상화됐다는 분석도 나온다. 중국발 기술 충격이 특정 기업의 돌발 변수를 넘어 AI·반도체·장비 전반에서 반복되는 새로운 시장 변수로 자리 잡고 있다는 것이다. AI 시장에서도 중국의 추격은 거세다. 최근 중국 스타트업 문샷AI가 공개한 ‘키미(Kimi) K3’를 계기로 중국의 AI 기술 굴기가 현실화하고 있다는 평가가 나온다.

장진복 기자