세계 6위 반도체 장비업체 세메스, 용인시에 첨단산단 승인신청…

2026년까지 9만㎡ 부지에 반도체 장비 국산화 R&D센터 건립

세계 6위, 국내 1위 반도체 장비 제조 업체인 세메스(주)가 용인 ‘L자형’ 반도체 벨트에 보금자리 마련한다.

경기 용인시는 세계적 반도체 장비업체 세메스가 연구개발시설(R&D센터) 건립을 위한 ‘기흥미래 도시첨단산업단지계획’ 승인 신청서를 냈다고 13일 밝혔다.

제출된 계획에는 세메스가 사업비 2083억원을 투입해 9만4442㎡(2만8569평) 규모 산업단지 부지를 조성하는 내용이 담겼다.


연구개발시설 건축 규모 등 세부적인 내용은 향후 인허가 과정에서 구체화할 예정이다.

용인시에 제출된 산업단지 계획은 경기도 산업단지계획 심의를 거쳐 시가 최종 승인한다.

앞서 세메스는 부지 조성과 건축비 등 총사업비 6000억원을 투입해 고매동 일원에 연면적 16만㎡ 규모의 R&D센터를 건립하는 것을 내용으로 지난해 8월 경기도 및 용인시와 업무협약을 체결한 바 있다.



세메스는 이번 연구개발시설 건립을 통해 반도체 공장(FAB)에 반도체 설비개발 및 평가시스템을 구축,차세대 기술 개발과 양산설비 평가를 진행한다는 계획이다.

연구개발시설은 2026년 완공을 목표로 한다.

용인시 관계자는 “기흥미래 도시첨단산단으로 ‘L자형 반도체 벨트’가 점점 제 모양을 갖춰가고 있다”며 “산업단지 조성 사업이 적기에 추진되도록 행정적인 지원을 아끼지 않겠다”고 말했다.

신동원 기자