아시아 첫 세계 원자층 증착기술상
수정 2014-06-23 01:36
입력 2014-06-23 00:00
한양대는 전형탁(54) 신소재공학부 교수가 최근 일본 교토에서 아시아 연구자로선 처음으로 ‘세계 원자층 증착기술상’(ALD Award)을 받았다고 22일 밝혔다.
전형탁 한양대 교수
원자층 증착기술(ALD)은 반도체 표면에 나노 원자층을 증착시키는 기술로 우리나라가 선도하는 반도체 연구 분야 중 하나다.
2014-06-23 12면
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